無(wú)塵車(chē)間
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無(wú)塵車(chē)間
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無(wú)塵車(chē)間凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
無(wú)塵車(chē)間凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、醫藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之創(chuàng )新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。
無(wú)塵車(chē)間凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
無(wú)塵車(chē)間凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌
等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復以上過(guò)程,即可達到凈化目的。
無(wú)塵車(chē)間凈化工程凈化參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
一般潔凈度等級說(shuō)明:
等數ISO空氣潔凈 | 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(P/m -空氣) | 潔凈等級美國聯(lián)邦209E | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | ||
ISO Class1 | 10 | 2 | |||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO Class3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
ISO Class4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
ISO Class5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
ISO Class6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
ISO Class7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
ISO Class8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
ISO Class9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 300000 |