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無(wú)塵室
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無(wú)塵室(Clean Room),亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎??刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
如表所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下,就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?,這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。
相關(guān)概念
⑴、自?xún)魰r(shí)間:是指無(wú)塵室按設計換氣次數開(kāi)始送風(fēng)到無(wú)塵室,室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時(shí)間。1,000級希望不超過(guò)20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過(guò)30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過(guò)40min(分鐘) (可取30min計算)
⑵、換氣次數(按上述自?xún)魰r(shí)間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) (規范:50次/小時(shí)) 10,000級 23.8—28.6次/小時(shí) (規范:25次/小時(shí)) 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) (規范:15次/小時(shí))
用途分類(lèi)
⑴ 、工業(yè)無(wú)塵室
——以無(wú)生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)、半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
⑵、生物無(wú)塵室,
主要控制有生命微粒(細菌)與無(wú)生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
A、 一般生物無(wú)塵室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時(shí)其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)無(wú)塵室。例:制藥工業(yè)、醫院(手術(shù)室、無(wú)菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物室驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學(xué)安全無(wú)塵室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)
一般潔凈度等級說(shuō)明:
等數ISO空氣潔凈 | 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(P/m -空氣) | 潔凈等級美國聯(lián)邦209E | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | ||
ISO Class1 | 10 | 2 | |||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO Class3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
ISO Class4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
ISO Class5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
ISO Class6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
ISO Class7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
ISO Class8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
ISO Class9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 300000 |